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专用密封

半导体行业专用密封

半导体行业专用密封

半导体行业专用密封

概述

有谛工业科技(上海)有限公司提供符合EIT-SEMIF51标准的FFKM全氟橡胶,FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。


半导体设备,半导体材料以及IC封测产业包括晶圆制造,晶圆传输,蚀刻,CMP,CVD等相关设备工艺需要使用超高纯,低污染,低渗透,耐腐蚀,耐化学介质,耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。其中典型应用包括阀门O型圈,门密封,腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。

 

应用场合

单晶炉,氧化炉,清洗机,蚀刻机Etching,化学物理沉积CVD/PVD,抛光设备CMP

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解决方案

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