半导体行业专用密封

概述

有谛工业科技（上海）有限公司提供符合EIT-SEMIF57标准的FFKM全氟橡胶，FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。

半导体设备，半导体材料以及晶圆制造（Wafer Fabr ication），晶圆测试（wafer Probe/Sorting)，蚀刻，CMP，CVD、芯片封装（Assemble），测试（Test）及后期的成品（Finish Goods）等相关设备工艺需要使用超高纯，低污染，低渗透，耐腐蚀，耐化学介质，耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。其中典型应用包括阀门O型圈，门密封，腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。

应用场合

单晶炉，氧化炉，清洗机，蚀刻机Etching，化学物理沉积CVD/PVD，抛光设备CMP

解决方案